箱式氣氛爐又叫氣氛爐、高溫爐、管式爐。是一種先進(jìn)實(shí)驗(yàn)設(shè)備,適用于金屬,納米,單晶硅,多晶硅,電池等的擴(kuò)散焊接以及真空氣體保護(hù)下,氣氛熱處理的加熱設(shè)備鉬絲爐,箱式氣氛爐,真空管式爐用于材料或化學(xué)實(shí)驗(yàn)室,在真空或氣氛狀態(tài)下燒結(jié)各種新材料樣品。
箱式氣氛爐的結(jié)構(gòu)分為以下幾個(gè)部分:
1、爐膛:
爐膛采用莫來石聚輕磚砌筑,爐膛內(nèi)上下用碳化硅棚板,爐內(nèi)溫度是加熱元件在加熱過程中經(jīng)過碳化硅棚板傳導(dǎo)(暗火加熱),溫度更均勻。爐殼密封。為提高密封墊的使用壽命在爐門口設(shè)有循環(huán)水冷套以降低密封處的溫度。進(jìn)氣設(shè)爐膛底部,經(jīng)加熱腔預(yù)熱后分多處進(jìn)入爐內(nèi),排氣經(jīng)爐頂后部排出。保證爐內(nèi)氣氛均勻,減小爐 內(nèi)溫差。氣路上裝有氣體流量計(jì),用于正常使用控制氣氛流量。
2、冷卻:
爐門采用循環(huán)式水冷。設(shè)有進(jìn)出水接頭。
3、電氣:
電氣部分采用與爐體一體化結(jié)構(gòu),整個(gè)電氣元件安裝在爐體底部的一側(cè),結(jié)構(gòu)緊湊、占用空間小。溫控安裝在爐體側(cè)面板上,觀察直觀,調(diào)節(jié)方便,溫控儀具有 PID調(diào)節(jié)功能,可自動(dòng)跟蹤設(shè)定*PID值,可任意設(shè)定測(cè)量分度密碼,同時(shí)具備補(bǔ)償功能,可使?fàn)t膛溫度與顯示值一致,具 有軟啟動(dòng)、軟關(guān)斷、可控硅移相調(diào)壓控制,0~98%輸出可調(diào)節(jié),面板上各種儀表開關(guān)等有相應(yīng)的中文標(biāo)牌。